河南省智能传感器MEMS中试平台

河南省智能传感器MEMS中试平台：总建筑面积6.6万平方米，主要建设智能传感器MEMS8吋中试平台，围绕智能传感器的设计、制造、封测和应用等全产业链各环节布局，建设产能3000-5000片/月的8吋MEMS中试平台。地址：郑州高新技术产业开发区。